[实用新型]一种新型真空沉积装置有效
| 申请号： | 202122134705.0 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215856297U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 宋崇顺;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光越微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 彭益波 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种新型真空沉积装置，包括：容纳腔，包括腔体和可开闭的腔门；抽真空组件，与容纳腔的内腔连通；密封的药品室，固定设于腔门的内侧壁上；药品室包括药品存放组件、药品加热组件以及可开闭的药品蒸发窗口；药品存放组件用于存放液态功能药品，药品加热组件用于加热液态功能药品生成气态功能药品；药品蒸发窗口与药品存放组件连通、且朝向内腔，用于将气态功能药品蒸发至内腔；主控装置，与药品蒸发窗口信号连接，用于控制药品蒸发窗口打开或关闭。通过上述设置，可解决目前真空沉积装置中输送气态功能药品的外部管道易被污染而影响样品沉积效果、导致样品产品质量降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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