[实用新型]一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置

摘要

本申请提供了一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置，包括外壳、安装支架、阀门和排气管；外壳具有安装腔、排气通道、第一通气口。排气通道集成设置于外壳，安装腔用于安装多个晶圆处理单元，第一通气口连通安装腔和排气通道、用于连接至晶圆处理单元的排气口，排气通道连接至排气管，阀门设置于排气管上，排气管连通至外部空间或气体处理装置。外壳包括第一侧板、第二侧板、背板，共同构成槽状的安装腔；第一侧板、第二侧板、背板中至少一个具有中空结构，构成排气通道。晶圆处理装置包括多个晶圆处理单元和前述的晶圆处理装置用箱体。本申请通过集成设置的排气通道，结构紧凑、安装方便可靠、适应性好，晶圆处理装置布置简单、扩展方便。