[实用新型]一种晶圆环上料装置有效

专利信息
申请号: 202122123825.0 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN215703032U 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 刘红军 申请(专利权)人: 昆山英博尔电子科技有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/04
代理公司: 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 代理人: 刘英
地址: 215345 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种晶圆环上料装置,涉及到上料装置领域,包括面板本体,所述面板本体的顶侧开设有圆形安装孔,所述面板本体的底侧固定连接有两个移动滑轨,两个所述移动滑轨上均滑动套接有移动滑块,两个所述移动滑块的底侧均固定连接有支撑连接架,两个所述支撑连接架的底侧固定安装有上料安装板,所述上料安装板的底侧转动安装有两个传动丝杆,其中一个所述传动丝杆的一端固定套接有转动滚轮。本实用新型通过伺服电机带动活动滚轮,滚轮带动转动滚轮转动,转动滚轮带动其中一个传动丝杆转动,传动丝杆带动两个联动轮转动,进而带动另一个传动丝杆联动转动,从而带动移动板上升,通过移动板带动活动顶杆和活动顶板向上移动,从而实现上料作业。
搜索关键词: 一种 圆环 装置
【主权项】:
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