[实用新型]一种晶圆环上料装置

权利要求书

1.一种晶圆环上料装置，包括面板本体(1)，其特征在于：所述面板本体(1)的顶侧开设有圆形安装孔(2)，所述面板本体(1)的底侧固定连接有两个移动滑轨(3)，两个所述移动滑轨(3)上均滑动套接有移动滑块(4)，两个所述移动滑块(4)的底侧均固定连接有支撑连接架(5)，两个所述支撑连接架(5)的底侧固定安装有上料安装板(6)，所述上料安装板(6)的底侧转动安装有两个传动丝杆(7)，其中一个所述传动丝杆(7)的一端固定套接有转动滚轮(8)，所述上料安装板(6)的底侧固定连接有连接定位柱(9)，所述连接定位柱(9)上固定套接有固定限位板(10)，所述固定限位板(10)的顶侧固定连接有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)的输出轴上固定套接有活动滚轮(12)，所述上料安装板(6)的底侧转动安装有两个限位轮(13)，所述转动滚轮(8)和所述活动滚轮(12)上活动套接有同一个转动皮带(14)，所述转动皮带(14)分别在两个所述限位轮(13)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆环上料装置，其特征在于：两个所述传动丝杆(7)的底端均固定安装有联动轮(15)，两个所述联动轮(15)上均获得套接有传动带。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆环上料装置，其特征在于：所述两个所述传动丝杆(7)上螺纹套接有同一个移动板(16)，所述移动板(16)的顶端固定连接有活动顶杆(17)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆环上料装置，其特征在于：所述活动顶杆(17)顶端固定连接有活动顶板(18)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆环上料装置，其特征在于：所述支撑连接架(5)的一侧固定连接有固定拉杆(22)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆环上料装置，其特征在于：所述上料安装板(6)的顶侧固定安装有激光发射器(19)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆环上料装置，其特征在于：所述面板本体(1)的底侧固定连接有四个支撑腿，其中两个所述支撑腿的一侧固定连接有上安装堆料架(20)，所述安装堆料架(20)的顶侧固定连接有激光触发继电器(21)。