[实用新型]一种真空镀膜机用加热装置有效
| 申请号： | 202122076733.1 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN215517603U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 李睿;孙建坤;杨明永;王胜江 | 申请（专利权）人： | 云南国光光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44;B08B9/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650114 云南省昆明市西*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机用加热装置，涉及氟化镁及其相关加工设备技术领域。本实用新型包括连接组件，连接组件的下表面从内到外依次设置有外空心导热筒、电热丝和内空心导热筒，连接组件包含有圆形板和圆环板，圆形板的上表面从外到内依次呈环形阵列螺纹连接有第二螺栓和第三螺栓，圆形板的上表面中部设置有驱动组件，驱动组件包含有电机和转轴。本实用新型通过设置连接组件和驱动组件结构，连接组件的存在，使得人们能够对外空心导热筒、电热丝和内空心导热筒进行独立拆装，进而使得人们对外空心导热筒、电热丝和内空心导热筒进行独立更换，且驱动组件的存在，带动内空心导热筒转动，使得搅刮组件对内空心导热筒的内侧壁进行清理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 加热 装置 | ||
【主权项】：
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