[实用新型]一种真空镀膜机用加热装置有效
申请号: | 202122076733.1 | 申请日: | 2021-08-31 |
公开(公告)号: | CN215517603U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 李睿;孙建坤;杨明永;王胜江 | 申请(专利权)人: | 云南国光光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/44;B08B9/027 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 650114 云南省昆明市西*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 加热 装置 | ||
1.一种真空镀膜机用加热装置,包括连接组件(4),其特征在于:所述连接组件(4)的下表面从内到外依次设置有外空心导热筒(2)、电热丝(21)和内空心导热筒(22),所述连接组件(4)包含有圆形板(41)和圆环板(43),所述圆环板(43)的内部连接的轴承(42)的内圆周面和圆形板(41)的外圆周面转动连接,所述圆形板(41)的上表面从外到内依次呈环形阵列螺纹连接有第二螺栓(45)和第三螺栓(46),所述第二螺栓(45)的圆周面下端贯穿圆形板(41)螺纹连接在外空心导热筒(2)的上表面上,所述第三螺栓(46)的圆周面下端贯穿圆形板(41)螺纹连接在内空心导热筒(22)的上表面上,所述圆形板(41)的上表面中部设置有驱动组件(5),所述驱动组件(5)包含有电机(51)和转轴(53),所述电机(51)的下表面中部连接的转轴(53)的下端面和圆形板(41)的上表面中部连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用加热装置,其特征在于,所述外空心导热筒(2)的外表面设置有镀膜机外壳(1),所述镀膜机外壳(1)的下表面呈等边三角形分布有支撑脚(11),所述镀膜机外壳(1)的下表面一侧开设的通孔(13)的内侧连接有出料管(12)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用加热装置,其特征在于,所述外空心导热筒(2)的下表面连接有圆形块(23),所述镀膜机外壳(1)的内部下表面外侧开设有环形滑槽(15),所述圆形块(23)沿着环形滑槽(15)和镀膜机外壳(1)的内部下表面转动连接。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用加热装置,其特征在于,所述镀膜机外壳(1)的内部下表面设置有搅刮组件(3),所述搅刮组件(3)包含有竖柱(31)和刮板(33),所述镀膜机外壳(1)的内部下表面中部开设有内螺纹孔槽(14),所述竖柱(31)的下端面连接有的外螺纹轴(32)螺纹连接在内螺纹孔槽(14)的内侧,所述竖柱(31)的圆周面上下对称连接有圆环套(34),所述圆环套(34)的圆周面上呈环形阵列分布有刮板(33)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用加热装置,其特征在于,所述圆环板(43)的上表面呈环形阵列螺纹连接有第一螺栓(44),所述第一螺栓(44)的圆周面下端贯穿圆环板(43)和镀膜机外壳(1)的上表面螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用加热装置,其特征在于,所述转轴(53)的下表面连接有圆形座(54),所述圆形座(54)的下表面连接在圆形板(41)的上表面中部位置上,所述电机(51)的上表面连接的U形机座(52)的下表面连接在圆环板(43)的上表面上。
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