[实用新型]一种用于过载缓冲的微机械芯片有效
| 申请号： | 202121978523.5 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN215756429U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 易华祥;闫鑫;杜宜璋 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 白瑶君 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微机械惯性传感器芯片技术领域，涉及一种用于过载缓冲的微机械芯片。芯片包括：负载粘接区、弹性梁、键合区、衬底区、绝缘层、衬底电极区、电极区；衬底区上面设置有衬底电极区，衬底电极区内设置有电极，衬底区上表面除衬底电极区之外的位置都覆盖有绝缘层，绝缘层上安装有多个键合区，每个键合区的上表面内边通过弹性梁与负载粘接区的一条边相连，预定的键合区上表面覆盖有电极区；负载粘接区的安装面安装待测试的传感器芯片底面，衬底区底面安装到传感器芯片安装区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 过载 缓冲 微机 芯片 | ||
【主权项】：
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