[实用新型]一种晶圆切割机

摘要

本实用新型提供一种晶圆切割机，属于晶圆加工技术领域，该晶圆切割机包括壳体；晶圆片，晶圆片位于壳体内；间歇传送机构，间歇传送机构包括间歇转动部件、固定部件、传送带和两个传送辊，两个传送辊的两端分别转动连接于壳体的两侧内壁；转位机构；切割机构；本装置采用两个激光切割器作为切割工具，通过间歇传送机构、往复移动部件和转位机构的配合，可以使得晶圆片先传送到一个激光切割器的下侧进行横向切割，然后继续传送至另一个激光切割器的下侧并在此过程中转位°，然后晶圆片会再被纵向切割从而完成晶圆切割，通过全机械操作不仅切割面非常平整，并且避免了失误率，从而使得产品的质量和生产效率都极大地提高了。