[实用新型]一种晶圆切割机

权利要求书

1.一种晶圆切割机，其特征在于，包括：

壳体(1)；

晶圆片(2)，所述晶圆片(2)位于壳体(1)内；

间歇传送机构，所述间歇传送机构包括间歇转动部件、固定部件、传送带(301)和两个传送辊(3)，两个所述传送辊(3)的两端分别转动连接于壳体(1)的两侧内壁，所述传送带(301)传动连接于两个传送辊(3)的圆周表面，所述晶圆片(2)通过固定部件固定于传送带(301)的上端，所述间歇转动部件与其中一个传送辊(3)连接以实现其间歇转动从而使得晶圆片(2)间歇传送；

转位机构，所述转位机构与晶圆片(2)连接以实现其在间歇传送的过程中被动转位，所述机构包括第一直齿轮(4)和直齿条(401)，所述第一直齿轮(4)与晶圆片(2)连接，所述直齿条(401)固定连接于壳体(1)的一侧内壁，且直齿条(401)与第一直齿轮(4)啮合；

切割机构，所述切割机构包括两组往复移动部件和两个激光切割器(506)，两个所述激光切割器(506)均设置于晶圆片(2)的上侧，两组所述往复移动部件分别与两个激光切割器(506)连接以实现其在水平方向作往复直线运动，并通过与间歇传送机构和转位机构的配合对晶圆片(2)进行纵向切割和横向切割；以及

驱动机构，所述驱动机构与间歇传送机构和切割机构均连接以实现其运转。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机，其特征在于：还包括第三转杆(605)，所述第三转杆(605)的两端分别转动连接于壳体(1)的两侧内壁；

所述间歇转动部件包括第二半齿轮(606)和第二直齿轮(607)，所述第二半齿轮(606)和第二直齿轮(607)分别固定连接于第三转杆(605)和其中一个传送辊(3)的圆周表面，且第二半齿轮(606)与第二直齿轮(607)间歇啮合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割机，其特征在于：每组所述往复移动部件均包括第一半齿轮(502)和环形齿条(503)，所述环形齿条(503)固定连接于其中一个激光切割器(506)的上端，所述第一半齿轮(502)设置于环形齿条(503)的内侧，且第一半齿轮(502)与环形齿条(503)间歇啮合。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述驱动机构包括传动部件、电机(5)、第一转杆(501)和第一锥形齿轮(6)，所述电机(5)固定连接于壳体(1)的一侧内壁，所述第一转杆(501)的一端转动连接于壳体(1)的另一侧内壁，所述第一转杆(501)的另一端固定连接于电机(5)的输出端，两个所述第一半齿轮(502)均固定连接于第一转杆(501)的圆周表面；

所述传动部件包括第二锥形齿轮(601)、第二转杆(602)、皮带(604)和两个皮带轮(603)，所述第二转杆(602)转动连接于壳体(1)的一侧内壁，两个所述皮带轮(603)分别固定连接于第二转杆(602)和第三转杆(605)的圆周表面，所述皮带(604)传动连接于两个皮带轮(603)的圆周表面，所述第二锥形齿轮(601)固定连接于第二转杆(602)的圆周表面，且第二锥形齿轮(601)与第一锥形齿轮(6)斜啮合。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述固定部件包括固定座(201)、第一卡槽(202)和第二卡槽(302)，所述第二卡槽(302)开设于传送带(301)的上端，所述第一卡槽(202)转动连接于第二卡槽(302)内，所述第一卡槽(202)开设于固定座(201)的圆周表面，所述晶圆片(2)活动卡接于第一卡槽(202)内，所述第一直齿轮(4)固定连接于固定座(201)的圆周表面。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述壳体(1)的上内壁开设有两个T形限位槽(505)，两个所述环形齿条(503)的上端均固定连接有T形限位块(504)，且两个T形限位块(504)分别滑动连接于两个T形限位槽(505)内。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆切割机，其特征在于：所述间歇转动部件设有两组，且两组间歇转动部件基于传送带(301)的中点轴对称。