[实用新型]一种研磨结构和研磨装置

摘要

本实用新型提供一种研磨结构，属于研磨技术领域，研磨结构包括：研磨盘与基座，所述研磨盘由多个研磨块构成；螺母，用于连接所述基座和所述研磨块，并调整研磨块的高度。本实用新型所提供的研磨结构，其研磨盘与基座设计为可拆卸式，便于进行清洗，其中构成研磨盘的多个研磨块可拆卸替换，避免因局部损伤导致整个研磨盘更换的问题，可有效提升研磨盘利用率；研磨块与基座之间通过螺母连接，研磨过程中可以通过调整螺母以调整研磨块的高度，使研磨盘保持较高的平整度，提高晶片表面的平坦度，减少研磨过程中修正盘型的时间，避免更换整个研磨盘，提高研磨效率。