[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 202121723822.4 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN215050642U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 程清;陈晓玉;刘必林;马中生 | 申请（专利权）人： | 苏州清越光电科技股份有限公司;义乌清越光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王锴 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室；至少一个加热源组，加热源组包括若干个加热源，加热源适于加热坩埚；入料传送支架位于蒸镀腔室的内部且与加热源组间隔，入料传送支架适于承载并传送装有蒸镀材料的坩埚；出料传送支架位于蒸镀腔室的内部且与加热源组间隔，出料传送支架适于承载并传送空坩埚；传输组件位于蒸镀腔室的内部，传输组件包括传输驱动件、滑轨机构和机械手臂，滑轨机构位于加热源组的侧部，机械手臂适于在传输驱动件的驱动下沿着滑轨机构移动，机械手臂适于将装有蒸镀材料的坩埚自入料传送支架上传输至加热源中，机械手臂还适于将空坩埚自加热源中传输至出料传送支架上。提高了更换坩埚的效率，提高了蒸镀设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
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