[实用新型]一种蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室；至少一个加热源组，加热源组包括若干个加热源，加热源适于加热坩埚；入料传送支架位于蒸镀腔室的内部且与加热源组间隔，入料传送支架适于承载并传送装有蒸镀材料的坩埚；出料传送支架位于蒸镀腔室的内部且与加热源组间隔，出料传送支架适于承载并传送空坩埚；传输组件位于蒸镀腔室的内部，传输组件包括传输驱动件、滑轨机构和机械手臂，滑轨机构位于加热源组的侧部，机械手臂适于在传输驱动件的驱动下沿着滑轨机构移动，机械手臂适于将装有蒸镀材料的坩埚自入料传送支架上传输至加热源中，机械手臂还适于将空坩埚自加热源中传输至出料传送支架上。提高了更换坩埚的效率，提高了蒸镀设备的产能。

技术领域

本实用新型涉及显示器制造领域，具体涉及一种蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器以其色彩鲜艳、功耗低、产品薄等诸多优点在市场上受到了广大消费者的喜爱。目前对于OLED显示器的制作，需要在高真空蒸镀腔室中设置装有有机材料的坩埚，通过加热源加热坩埚蒸镀有机材料，形成OLED显示器的有机薄膜，因此蒸镀有机材料是OLED显示器制造中必不可少的制程。

现有技术的蒸镀设备中，每个坩埚对应一个加热源，蒸镀腔室内的加热源数量有限，因此蒸镀腔室中的有机材料是有限的，在蒸镀过程每次有机材料用尽后都需要破真空，打开真空腔室重新添加有机材料，该种方式使OLED显示器的制作过程耽误了较多的时间，蒸镀效率低，且容易造成显示器污染，因此有必要对用于OLED显示器制作的蒸镀设备进行改进。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸镀设备蒸镀效率有待提高的问题，从而提供一种蒸镀设备。

本实用新型提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室；至少一个加热源组，所述加热源组位于所述蒸镀腔室内部，所述加热源组包括若干个加热源，所述加热源适于加热坩埚；入料传送支架，所述入料传送支架位于所述蒸镀腔室的内部且与所述加热源组间隔，所述入料传送支架适于承载并传送装有蒸镀材料的坩埚；出料传送支架，所述出料传送支架位于所述蒸镀腔室的内部且与所述加热源组间隔，所述出料传送支架适于承载并传送空坩埚；传输组件，所述传输组件位于所述蒸镀腔室的内部，所述传输组件包括传输驱动件、滑轨机构和机械手臂，所述滑轨机构位于所述加热源组的侧部，所述机械手臂适于在所述传输驱动件的驱动下沿着所述滑轨机构移动，所述机械手臂适于将装有蒸镀材料的坩埚自所述入料传送支架上传输至所述加热源中，所述机械手臂还适于将空坩埚自所述加热源中传输至所述出料传送支架上。

可选的，所述加热源组还包括：位于所述加热源底部的旋转基座，所述旋转基座适于围绕所述旋转基座的中心轴进行旋转；所述加热源组中的各加热源围绕所述旋转基座的中心轴分布在所述旋转基座上。

可选的，所述传输组件还包括：位于所述滑轨机构上的承载平台，所述承载平台与所述滑轨机构滑动连接；位于所述承载平台上的环形导轨和旋转平台，所述旋转平台适于在所述环形导轨上方沿着所述环形导轨运动，所述旋转平台朝向所述环形导轨的底面设置有与所述环形导轨嵌合的第一滑动件；设置在所述旋转平台上的线性导轨；位于部分旋转平台上的滑动平台，所述滑动平台适于沿着所述线性导轨进行往复运动；所述滑动平台朝向所述线性导轨的底面具有与所述线性导轨嵌合的第二滑动件；所述机械手臂与所述滑动平台连接。

可选的，所述传输驱动件包括第一驱动马达、第二驱动马达和第三驱动马达；所述第一驱动马达适于驱动所述承载平台沿着所述滑轨机构滑动；所述第二驱动马达适于驱动所述旋转平台在所述环形导轨上方沿着所述环形导轨运动；所述第三驱动马达适于驱动所述滑动平台沿着所述线性导轨进行往复运动。

可选的，所述滑轨机构的延伸方向与所述入料传送支架上装有蒸镀材料的坩埚的传输方向相互垂直；所述滑轨机构的延伸方向与所述出料传送支架上空坩埚的传输方向相互垂直。