[实用新型]一种蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

蒸镀腔室；

至少一个加热源组，所述加热源组位于所述蒸镀腔室内部，所述加热源组包括若干个加热源，所述加热源适于加热坩埚；

入料传送支架，所述入料传送支架位于所述蒸镀腔室的内部且与所述加热源组间隔，所述入料传送支架适于承载并传送装有蒸镀材料的坩埚；

出料传送支架，所述出料传送支架位于所述蒸镀腔室的内部且与所述加热源组间隔，所述出料传送支架适于承载并传送空坩埚；

传输组件，所述传输组件位于所述蒸镀腔室的内部，所述传输组件包括传输驱动件、滑轨机构和机械手臂，所述滑轨机构位于所述加热源组的侧部，所述机械手臂适于在所述传输驱动件的驱动下沿着所述滑轨机构移动，所述机械手臂适于将装有蒸镀材料的坩埚自所述入料传送支架上传输至所述加热源中，所述机械手臂还适于将空坩埚自所述加热源中传输至所述出料传送支架上。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热源组还包括：位于所述加热源底部的旋转基座，所述旋转基座适于围绕所述旋转基座的中心轴进行旋转；

所述加热源组中的各加热源围绕所述旋转基座的中心轴分布在所述旋转基座上。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传输组件还包括：位于所述滑轨机构上的承载平台，所述承载平台与所述滑轨机构滑动连接；位于所述承载平台上的环形导轨和旋转平台，所述旋转平台适于在所述环形导轨上方沿着所述环形导轨运动，所述旋转平台朝向所述环形导轨的底面设置有与所述环形导轨嵌合的第一滑动件；设置在所述旋转平台上的线性导轨；位于部分旋转平台上的滑动平台，所述滑动平台适于沿着所述线性导轨进行往复运动；所述滑动平台朝向所述线性导轨的底面具有与所述线性导轨嵌合的第二滑动件；

所述机械手臂与所述滑动平台连接。

4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传输驱动件包括第一驱动马达、第二驱动马达和第三驱动马达；

所述第一驱动马达适于驱动所述承载平台沿着所述滑轨机构滑动；

所述第二驱动马达适于驱动所述旋转平台在所述环形导轨上方沿着所述环形导轨运动；

所述第三驱动马达适于驱动所述滑动平台沿着所述线性导轨进行往复运动。

5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述滑轨机构的延伸方向与所述入料传送支架上装有蒸镀材料的坩埚的传输方向相互垂直；所述滑轨机构的延伸方向与所述出料传送支架上空坩埚的传输方向相互垂直。

6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述滑轨机构沿着所述滑轨机构的延伸方向具有相对的第一端和第二端；所述入料传送支架位于所述第二端背向所述第一端的一侧，所述出料传送支架位于所述第二端背向所述第一端的一侧。

7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述入料传送支架包括相对的第一入料端和第二入料端，所述入料传送支架包括入料传送带和入料驱动件，所述入料传送带适于在所述入料驱动件的驱动下将装有蒸镀材料的坩埚从所述第一入料端传送至所述第二入料端，所述第一入料端至所述滑轨机构的距离大于所述第二入料端至所述滑轨机构的距离；

所述机械手臂适于将装有蒸镀材料的坩埚自所述第二入料端传输至所述加热源中。

8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：位于所述第二入料端的侧部的入料检测传感器。

9.根据权利要求1或7任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述出料传送支架包括相对的第一出料端和第二出料端，所述出料传送支架包括出料传送带和出料驱动件，所述出料传送带适于在所述出料驱动件的驱动下将空坩埚从所述第一出料端传送至所述第二出料端，所述第二出料端至所述滑轨机构的距离大于所述第一出料端至所述滑轨机构的距离；

所述机械手臂适于将空坩埚自所述加热源传输至所述第一出料端上。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：位于所述第一出料端的侧部的出料检测传感器。