[实用新型]一种用于晶圆的紧固装置

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆的紧固装置，包括旋转基座，分别与旋转基座相连的至少三个连接臂，连接臂端部设置有晶圆支撑机构和晶圆转动夹持机构，晶圆支撑机构被晶圆转动夹持机构包裹，且两者转动连接，当晶圆转动夹持机构受到离心力时，其底部向外运动，其端部下压抵接晶圆的侧壁，以配合晶圆支撑机构固定晶圆。本实用新型利用晶圆支撑机构和晶圆转动夹持机构在离心力作用下的配合，对晶圆实现稳固夹持，夹持在晶圆的侧壁，不会与晶圆的上表面形成接触，保证晶圆的性能不会受到影响，晶圆干燥效果也达到最佳；晶圆转动夹持机构包裹晶圆支撑机构，使得晶圆支撑机构的尺寸可以缩小，而且晶圆转动夹持机构的更换更加简便。