[实用新型]加速度传感器有效
| 申请号： | 202121567364.X | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN215263584U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 庄瑞芬;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 王海臣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种加速度传感器，解决了现有技术中变间隙型加速度传感器的可靠性较低的问题。其中，加速度传感器包括间隔设置的第一基板和第二基板，以及位于第一基板和第二基板之间的多个支撑锚点。第一基板为单晶材料；第二基板包括第一叉齿结构和分别与第一叉齿结构的两侧叉齿交叉设置的第二叉齿结构和第三叉齿结构，第一叉齿结构、第二叉齿结构和第三叉齿结构分别通过一支撑锚点连接第一基板；第一叉齿结构以与之连接的支撑锚点为支点，第一叉齿结构在支点的两侧具有质量差；在平行于第一基板和第二基板的方向上，第一叉齿结构与第二叉齿结构和第三叉齿结构均存在高度差。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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