[实用新型]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：间隔设置的第一基板和第二基板，以及位于所述第一基板和所述第二基板之间的多个支撑锚点；

其中，所述第一基板为单晶材料；所述第二基板包括第一叉齿结构和分别与所述第一叉齿结构的两侧叉齿交叉设置的第二叉齿结构和第三叉齿结构，所述第一叉齿结构、所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构分别通过一所述支撑锚点连接所述第一基板；所述第一叉齿结构以与之连接的所述支撑锚点为支点运动，所述第一叉齿结构在所述支点的两侧具有质量差；

在垂直于所述第一基板和所述第二基板的方向上，所述第一叉齿结构与所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构中的至少一者存在高度差。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一叉齿结构、所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构分别包括朝向所述第一基板的第一表面；所述第一叉齿结构的所述第一表面和所述第一基板之间具有第一间距，所述第二叉齿结构的所述第一表面和所述第三叉齿结构的所述第一表面分别与所述第一基板之间具有第二间距，所述第一间距小于所述第二间距。

3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一叉齿结构、所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构分别包括背向所述第一基板的第二表面；所述第一叉齿结构的所述第二表面和所述第一基板之间具有第三间距，所述第二叉齿结构的所述第一表面和所述第三叉齿结构的所述第二表面分别与所述第一基板之间具有第四间距，所述第三间距小于所述第四间距。

4.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一叉齿结构与所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构之间的高度差均大于0微米并且小于10微米。

5.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一叉齿结构、所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构中的至少一者具有防粘连表面。

6.根据权利要求5所述的加速度传感器，其特征在于，所述防粘连表面的材料为自组装单分子材料。

7.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第二基板的厚度大于或等于20微米并且小于或等于100微米。

8.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第二叉齿结构和所述第三叉齿结构与所述第一基板之间的间隔均大于10微米。

9.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一基板为半导体材料，所述第二基板为单晶材料；所述支撑锚点为绝缘材料。

10.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一基板、所述第二基板、所述支撑锚点三者的材料包括相同的原子。

11.根据权利要求10所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板的材料均为硅；和/或所述支撑锚点的材料为二氧化硅。