[实用新型]一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构

摘要

本实用新型公开了一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，该检测机构安装在芯片键合工装上，包括：主基板，所述主基板水平安装在芯片键合工装上；工业相机，所述工业相机的数量至少为两个，所述工业相机安装在所述主基板上，所述工业相机与玻璃基板上设置的标记点一一对应，所述玻璃基板被定位在芯片键合工装上，所述工业相机对与其对应的标记点进行拍摄，所述工业相机的拍摄焦点与玻璃基板上的标记点一一对应重合，表示玻璃基板的定位精度满足要求。通过本实用新型的检测机构对待键合的玻璃基板进行定位检测，保证玻璃基板定位的准确性，提高芯片键合在玻璃基板上的精度，从而保证产品的质量，降低次品率。