[实用新型]一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构

权利要求书

1.一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，该检测机构安装在芯片键合工装上，其特征在于，包括：

主基板，所述主基板水平安装在芯片键合工装上；

工业相机，所述工业相机的数量至少为两个，所述工业相机安装在所述主基板上，所述工业相机与玻璃基板上设置的标记点一一对应，所述玻璃基板被定位在芯片键合工装上，所述工业相机对与其对应的标记点进行拍摄，所述工业相机的拍摄焦点与玻璃基板上的标记点一一对应重合，表示玻璃基板的定位精度满足要求。

2.如权利要求1所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述工业相机的数量为两个，两个所述工业相机左右对称安装在所述主基板上，每个所述工业相机均通过微调组件安装在所述主基板的上表面，每组所述微调组件均连接在同步调节组件上，所述同步调节组件通过微调组件驱动两个工业相机同步反向或同步相向移动。

3.如权利要求2所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述工业相机上还安装有与其匹配的镜头，所述镜头的拍摄方向竖直向上。

4.如权利要求3所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述微调组件包括水平调节的第一微调平台和竖直调节的第二微调平台，所述第一微调平台水平固定在安装板上，所述安装板与所述同步调节组件连接，所述安装板上还固定有滑块上，所述滑块滑动安装在水平的滑轨上，所述滑轨固定在所述主基板上，所述第一微调平台的水平调节方向与滑块在滑轨上的滑动方向相垂直，所述第二微调平台通过安装体固定在第一微调平台的活动块上，所述工业相机通过与其安装的镜头固定在第二微调平台的活动块上。

5.如权利要求4所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述第一微调平台上设有驱动其活动块移动的第一微分头、将其活动块相对固定的第一锁紧螺栓。

6.如权利要求4所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述第二微调平台上设有驱动其活动块移动的第二微分头、将其活动块相对固定的第二锁紧螺栓。

7.如权利要求4所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述同步调节组件包括安装立板、驱动螺母和丝杆，所述丝杆通过多个轴承座固定在所述安装立板上，所述丝杆的长度方向与所述滑轨的长度方向一致，所述丝杆的一端连接有驱动其转动的动力源，所述安装板通过连接体与对应的驱动螺母相固定，两个所述驱动螺母均通过螺纹分别连接在丝杆的第一驱动段和第二驱动段上且分别形成丝杆螺母传动，所述丝杆的第一驱动段上螺纹的旋向和第二驱动段上的螺纹的旋向相反。

8.如权利要求7所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述动力源为电机，所述电机的输出轴与所述丝杆同轴固定，所述电机固定在所述主基板上。

9.如权利要求7所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述丝杆的第一驱动段的两端均设有轴承座，所述丝杆的第二驱动段的两端均设有轴承座。

10.如权利要求7所述的一种用于COG工艺中玻璃基板定位检测机构，其特征在于，所述安装板与所述连接体固定，所述连接体固定在连接块上，所述连接块套装并固定在对应驱动螺母的外部。