[实用新型]一种金属电极及具有该金属电极的深紫外LED芯片

摘要

本实用新型涉及一种金属电极及具有该金属电极的深紫外LED芯片，所述金属电极包括粘附层(1)、反应层(2)、阻挡层(3)和保护层(4)，所述反应层(2)为由Ti膜(2.1)和Al膜(2.2)交替布置的多层结构且所述反应层(2)中的所述Ti膜(2.1)和Al膜(2.2)的厚度比为1:10。其反应层为Ti与Al按照1:10的比例进行的多层设计，使退火阶段Ti与Al能充分反应，以形成功函数低的TiN与TiAl合金，从而降低比接触电阻率，同时能避免Al的内扩散形成禁带宽度高的AlN和Al的外扩散，优化金属电极表面形态，使金属电极表面形态光滑，增强芯片的光衰维持率，延长芯片寿命。