[实用新型]MEMS器件有效
| 申请号： | 202121369733.4 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN215835558U | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 刘畅 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS器件，包括位于同一衬底上的至少两个MEMS单元组，每个所述MEMS单元组均包括一个MEMS单元或至少两个并联的MEMS单元，每个所述MEMS单元组均输出一路MEMS信号，后面线路可以实现信号级联，可用于制作多级级联结构的MEMS系统，从而提升灵敏度和信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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