[实用新型]MEMS系统有效
| 申请号： | 202121369586.0 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN215835559U | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 刘畅 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS系统，利用吸合检测模块接入能够表征声音信号的第二电压信号，并在第二电压信号表征MEMS电容吸合时拉低偏置电压，由于MEMS电容吸合时不会对器件产生物理性的损伤，属于可恢复性的，将偏置电压拉低后可以降低电场力，电容式MEMS传感模块中的可振动部件会在弹性作用力的作用下回弹回初始位置，重新恢复偏置电压即可恢复器件功能，不用重新上电就可以解决吸合现象，提高客户体验和语音终端的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 系统 | ||
【主权项】：
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