[实用新型]一种压电微机械超声换能器封装结构

摘要

本实用新型提供一种压电微机械超声换能器封装结构，包括下电极、压电层、上电极、机械层、衬底层以及过渡层，下电极、压电层以及上电极自下而上由SOI材料依次沉积且设于机械层外缘面；衬底层与下电极以机械层相对称，且固定设于机械层另一外缘面；衬底层通过刻蚀工艺相对于机械层外缘面形成一空腔结构；向空腔结构浇筑胶体材料形成过渡层；过渡层远离与机械层连接处的外缘面粘接有吸声层。本实用新型通过在常规PMUT压电微机械超声换能器正面添加匹配层，在其背面浇筑胶体材料形成过渡层，并通过设置吸声材料的方式，有效提高PMUT压电微机械超声换能器的发射和接收效率，增大其工作带宽与耐压等级，降低背面材料的回波。