[实用新型]一种压电微机械超声换能器封装结构有效
| 申请号： | 202121288234.2 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN215069226U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 徐波;何野;徐方良 | 申请（专利权）人： | 江苏英特神斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G10K9/122 | 分类号： | G10K9/122;G10K9/18 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 王彩君 |
| 地址： | 210061 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 微机 超声 换能器 封装 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电微机械超声换能器封装结构，其特征在于：包括下电极、压电层、上电极、机械层、衬底层以及过渡层，其中，
所述下电极、压电层以及上电极自下而上由SOI材料依次沉积且设于机械层外缘面；
所述衬底层与所述下电极以机械层相对称，且固定设于所述机械层另一外缘面；
所述衬底层通过刻蚀工艺与机械层外缘面结合形成一空腔结构；
向所述空腔结构浇筑胶体材料形成所述过渡层；
所述过渡层远离与机械层连接处的外缘面粘接有吸声层。
2.根据权利要求1所述的一种压电微机械超声换能器封装结构，其特征在于：还包括至少一个匹配层，每个所述匹配层固定设于所述机械层外缘面且分别与下电极、压电层以及上电极紧密贴合；
所述匹配层通过胶体材料固化加工而成或由已加工成型的匹配层材料通过胶体材料粘接而成。
3.根据权利要求1所述的一种压电微机械超声换能器封装结构，其特征在于：所述过渡层的声阻抗与压电微机械超声换能器声阻抗一致。
4.根据权利要求1或3所述的一种压电微机械超声换能器封装结构，其特征在于：所述吸声层的声阻抗与过渡层的声阻抗一致，以减少在过渡层与吸声层界面处的声反射。
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