[实用新型]一种温度可控的靶材加工加热装置有效
| 申请号： | 202121286608.7 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN215515688U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 林农 | 申请（专利权）人： | 江苏维德新材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/82 | 分类号： | B65G47/82;C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 连云港乐诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 32430 | 代理人： | 张丽 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种温度可控的靶材加工加热装置，包括支撑机构、运送机构、夹持机构与输出机构，所述支撑机构的顶部设置有运送机构，所述支撑机构的外表面设置有夹持机构，所述支撑机构的顶部设置有输出机构，所述夹持机构包括旋转箱，所述旋转箱的内壁设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的右侧设置有活动杆，所述活动杆的前后两侧均设置有连接杆，第一电动推杆的右侧设置有数量为两个的滑套，两个所述连接杆的右侧均设置有支杆，两个所述支杆的右侧均设置有夹块，所述支撑机构包括箱体。该温度可控的靶材加工加热装置，通过连接杆的外表面设置有滑套，能够使连接杆带动夹块作相对运动，从而能够对靶材进行夹持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 可控 加工 加热 装置 | ||
【主权项】：
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