[实用新型]一种温度可控的靶材加工加热装置

说明书

本实用新型涉及一种温度可控的靶材加工加热装置，包括支撑机构、运送机构、夹持机构与输出机构，所述支撑机构的顶部设置有运送机构，所述支撑机构的外表面设置有夹持机构，所述支撑机构的顶部设置有输出机构，所述夹持机构包括旋转箱，所述旋转箱的内壁设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的右侧设置有活动杆，所述活动杆的前后两侧均设置有连接杆，第一电动推杆的右侧设置有数量为两个的滑套，两个所述连接杆的右侧均设置有支杆，两个所述支杆的右侧均设置有夹块，所述支撑机构包括箱体。该温度可控的靶材加工加热装置，通过连接杆的外表面设置有滑套，能够使连接杆带动夹块作相对运动，从而能够对靶材进行夹持。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种温度可控的靶材加工加热装置。

背景技术

靶材主要由靶坯、背板等部分组成:其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

目前市场上现有的靶材加热装置主要针对功能性等方面进行改进，其具有温度可控等多功能性的优点，但该靶材加热装置在实际使用过程中不方便对靶材夹持旋转均匀受热，故而提出一种温度可控的靶材加工加热装置来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的技术问题，提供一种温度可控的靶材加工加热装置，解决了目前市场上现有的靶材加热装置在实际使用过程中不方便对靶材夹持旋转均匀受热的问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种温度可控的靶材加工加热装置，包括支撑机构、运送机构、夹持机构与输出机构，所述支撑机构的顶部设置有运送机构，所述支撑机构的外表面设置有夹持机构，所述支撑机构的顶部设置有输出机构，所述夹持机构包括旋转箱，所述旋转箱的内壁设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的右侧设置有活动杆，所述活动杆的前后两侧均设置有连接杆，第一电动推杆的右侧设置有数量为两个的滑套，两个所述连接杆的右侧均设置有支杆，两个所述支杆的右侧均设置有夹块。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述支撑机构包括箱体，所述箱体内部设置有加热组件。

进一步，所述加热组件的外表面设置有温度控制器，所述温度控制器贯穿并延伸至箱体的外部。

进一步，所述箱体的顶部设置有电动滑轨，所述电动滑轨的顶部设置有运送机构。

进一步，所述运送机构包括第二电动推杆，所述第二电动推杆的底部设置有夹持组件。

进一步所述箱体的内底壁设置有升降组件，所述夹块与升降组件为活动连接。

进一步，两个所述连接杆设置在滑套的内部，所述夹块贯穿并延伸至箱体的外部。

进一步，所述输出机构包括轴承，所述轴承设置在输出机构的前后两侧。

进一步，所述支撑机构的顶部设置有数量为两个的支撑柱，两个所述支撑柱的相对一侧设置有转动轮。

进一步，所述输出机构与转动轮的外表面设置有传送带，两个所述轴承的相背一侧均设置在箱体的内壁。

与现有技术相比，本申请的技术方案具有以下有益技术效果：

1、该温度可控的靶材加工加热装置，通过连接杆的外表面设置有滑套，能够使连接杆带动夹块作相对运动，从而能够对靶材进行夹持。

2、该温度可控的靶材加工加热装置，通过电动滑轨的顶部设置有第二电动推杆，能够将靶材放置在传送带上，从而达到了便于运输靶材的效果。

附图说明

图1为本实用新型剖视图；

图2为本实用新型旋转箱的结构俯视剖视图；