[实用新型]一种温度可控的靶材加工加热装置

权利要求书

1.一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，包括支撑机构(1)、运送机构(2)、夹持机构(3)与输出机构(4)，所述支撑机构(1)的顶部设置有运送机构(2)，所述支撑机构(1)的外表面设置有夹持机构(3)，所述支撑机构(1)的顶部设置有输出机构(4)；

所述夹持机构(3)包括旋转箱(301)，所述旋转箱(301)的内壁设置有第一电动推杆(302)，所述第一电动推杆(302)的右侧设置有活动杆(307)，所述活动杆(307)的前后两侧均设置有连接杆(304)，第一电动推杆(302)的右侧设置有数量为两个的滑套(303)，两个所述连接杆(304)的右侧均设置有支杆(305)，两个所述支杆(305)的右侧均设置有夹块(306)。

2.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述支撑机构(1)包括箱体(101)，所述箱体(101)内部设置有加热组件(102)。

3.根据权利要求2所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述加热组件(102)的外表面设置有温度控制器(103)，所述温度控制器(103)贯穿并延伸至箱体(101)的外部。

4.根据权利要求3所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述箱体(101)的顶部设置有电动滑轨(204)，所述电动滑轨(204)的顶部设置有运送机构(2)。

5.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述运送机构(2)包括第二电动推杆(201)，所述第二电动推杆(201)的底部设置有夹持组件(202)。

6.根据权利要求4所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述箱体(101)的内底壁设置有升降组件(203)，所述夹块(306)与升降组件(203)为活动连接。

7.根据权利要求6所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，两个所述连接杆(304)设置在滑套(303)的内部，所述夹块(306)贯穿并延伸至箱体(101)的外部。

8.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述输出机构(4)包括轴承(401)，所述轴承(401)设置在输出机构(4)的前后两侧。

9.根据权利要求1所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述支撑机构(1)的顶部设置有数量为两个的支撑柱(402)，两个所述支撑柱(402)的相对一侧设置有转动轮(403)。

10.根据权利要求9所述的一种温度可控的靶材加工加热装置，其特征在于，所述输出机构(4)与转动轮(403)的外表面设置有传送带(404)，两个所述轴承(401)的相背一侧均设置在箱体(101)的内壁。