[实用新型]用于湿制程的全覆盖双室喷药设备有效
| 申请号： | 202121252938.4 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN215465585U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张容韶;沈洵;胡清渊 | 申请（专利权）人： | 浙江众凌科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/40 | 分类号： | B05B16/40;B05B13/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于湿制程的全覆盖双室喷药设备，包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室，第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道，第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构，下部设置用于朝上喷药的喷洒机构，喷洒机构包括呈竖直的进药管和呈水平的喷药管，进药管与喷药管之间通过缓冲盒相连通，喷药管上通过若干短直管一一连通若干单喷嘴，喷药管上通过分叉管连通双喷嘴，分叉管包括相连通的长直管和横支管，长直管的末端连接双喷嘴中的其一喷嘴，横支管的末端连接双喷嘴中的另一喷嘴，单喷嘴设置于喷药管的中部位置上，双喷嘴设置于喷药管的端部位置上，并使横支管末端的喷嘴朝外侧延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 湿制程 覆盖 双室喷药 设备 | ||
【主权项】：
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