[实用新型]用于湿制程的全覆盖双室喷药设备

说明书

本实用新型提供了一种用于湿制程的全覆盖双室喷药设备，包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室，第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道，第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构，下部设置用于朝上喷药的喷洒机构，喷洒机构包括呈竖直的进药管和呈水平的喷药管，进药管与喷药管之间通过缓冲盒相连通，喷药管上通过若干短直管一一连通若干单喷嘴，喷药管上通过分叉管连通双喷嘴，分叉管包括相连通的长直管和横支管，长直管的末端连接双喷嘴中的其一喷嘴，横支管的末端连接双喷嘴中的另一喷嘴，单喷嘴设置于喷药管的中部位置上，双喷嘴设置于喷药管的端部位置上，并使横支管末端的喷嘴朝外侧延伸。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种湿制程工艺设备，特别是一种用于湿制程的全覆盖双室喷药设备。

背景技术

湿制程被广泛地应用于PCB、LCD、LED、触摸屏等行业，湿制程主要包括前处理、显影、蚀刻、去膜等化学药水处理的生产工艺。

湿制程设备主要核心的架构在于通过对工件板面喷洒药水并进行化学反应的药水喷洒机构。药水通过帮浦从外围药水槽打入进药管，并经过缓冲盒将药水由垂直转水平进入喷药管，最终药水从各喷嘴喷洒而出，而化学反应均在此喷洒室里发生。

湿制程设备主要重视药水喷洒的均匀性和是否全面覆盖性，即工件板面在受到药水喷洒的有效作业时间内，通过喷嘴的排列、药水喷洒角度及药水喷洒范围的缜密计算来达到药水喷洒均匀性的优化。而药水喷洒的有效作业时间主要取决于药水喷洒有效长度，而一般来说喷洒室的整体长度并不等于药水喷洒有效长度，主要是缓冲盒、驱动机构及固定管路的固定座等会占去喷嘴安装的位置，由此使得该位置成为喷药死角而无法被喷洒到药水。

另外当药水喷洒有效长度因制程需求需大于2米时，湿制程设备设计上会变更为两组药水喷洒机构分别在前喷洒室及后喷洒室。主要是因为喷药管的长度若是大于2米容易因材料结构强度而变形弯曲，因此才会由单一喷洒室设计为双喷洒室。由此可见，双喷洒室最大的问题在于两个喷洒室之间存在无喷嘴喷洒的区域，即喷药死角，此区域将会影响药水喷洒的均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种利用分支形态的组合喷嘴，通过分支将喷嘴延伸至喷药死角，以提升喷洒均匀性的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：用于湿制程的全覆盖双室喷药设备，包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室，所述第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道，所述第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构，下部设置用于朝上喷药的喷洒机构，所述喷洒机构包括呈竖直的进药管和呈水平的喷药管，所述进药管与所述喷药管之间通过缓冲盒相连通，所述喷药管上通过若干短直管一一连通若干单喷嘴，所述喷药管上通过分叉管连通双喷嘴，所述分叉管包括相连通的长直管和横支管，所述长直管的末端连接所述双喷嘴中的其一喷嘴，所述横支管的末端连接所述双喷嘴中的另一喷嘴，所述单喷嘴设置于所述喷药管的中部位置上，所述双喷嘴设置于所述喷药管的端部位置上，并使所述横支管末端的喷嘴朝外侧延伸。

本用于湿制程的全覆盖双室喷药设备，采用加长型的长直管并在其管身上连接水平延伸的横支管，在长直管及横支管的末端均连接喷嘴形成双喷嘴。通过这样的结构设计，能避开缓冲盒、驱动机构及固定管路的固定座会占去的喷嘴安装位置，使得喷嘴延伸至喷药死角，进而消除喷洒盲区，形成均匀连续的喷药方式。

在上述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备中，用于朝下喷药的喷洒机构与用于朝上喷药的喷洒机构呈上下对称设置。