[实用新型]用于湿制程的全覆盖双室喷药设备有效
| 申请号: | 202121252938.4 | 申请日: | 2021-06-04 |
| 公开(公告)号: | CN215465585U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
| 发明(设计)人: | 张容韶;沈洵;胡清渊 | 申请(专利权)人: | 浙江众凌科技有限公司 |
| 主分类号: | B05B16/40 | 分类号: | B05B16/40;B05B13/02;H01L21/67 |
| 代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 蔡鼎 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 湿制程 覆盖 双室喷药 设备 | ||
1.用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室,所述第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道,所述第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构,下部设置用于朝上喷药的喷洒机构,其特征在于,所述喷洒机构包括呈竖直的进药管和呈水平的喷药管,所述进药管与所述喷药管之间通过缓冲盒相连通,所述喷药管上通过若干短直管一一连通若干单喷嘴,所述喷药管上通过分叉管连通双喷嘴,所述分叉管包括相连通的长直管和横支管,所述长直管的末端连接所述双喷嘴中的其一喷嘴,所述横支管的末端连接所述双喷嘴中的另一喷嘴,所述单喷嘴设置于所述喷药管的中部位置上,所述双喷嘴设置于所述喷药管的端部位置上,并使所述横支管末端的喷嘴朝外侧延伸。
2.根据权利要求1所述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,其特征在于,用于朝下喷药的喷洒机构与用于朝上喷药的喷洒机构呈上下对称设置。
3.根据权利要求1所述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,其特征在于,所述单喷嘴与所述双喷嘴的喷洒角度范围是100°~110°。
4.根据权利要求1所述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,其特征在于,所述工件输送通道的下方均匀设置若干传送滚轮。
5.根据权利要求1所述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,其特征在于,所述喷药管为固定管。
6.根据权利要求1所述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,其特征在于,所述喷药管为摇摆管,所述摇摆管通过摆转电机驱动连接,所述摆转电机与所述摇摆管之间通过齿轮组、连接杆与旋转块形成传动连接。
7.根据权利要求1所述的用于湿制程的全覆盖双室喷药设备,其特征在于,所述喷药管为平移盘体,所述平移盘体通过往复电动液压缸驱动连接,所述平移盘体与所述缓冲盒之间通过软管连接。
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