[实用新型]一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置有效

专利信息
申请号: 202121088801.X 申请日: 2021-05-20
公开(公告)号: CN214736048U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 杨清泉;高保林;杨潇 申请(专利权)人: 安阳市佰士特异型石墨制品有限责任公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14
代理公司: 郑州宏海知识产权代理事务所(普通合伙) 41184 代理人: 赵白
地址: 455000 河南省安阳市北关区中原高新*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,包括底环,底环的顶部对称设有支撑杆,支撑杆相对的一侧铰接设有锥形卡块,锥形卡块与相邻的支撑杆之间均固设有压簧;底环上对称设有限位杆,限位杆的顶部设有外螺纹,限位杆套设有压紧环,压紧环卡设于锥形卡块外侧,限位杆的顶部均螺纹连接有顶块,顶块的顶部均固定设有转柄,锥形卡块在压簧的作用下可对坩埚的侧壁进行顶紧,拧动转柄,转柄带动顶块向下移动,压紧环在顶块的作用下逐渐下移,以保证锥形卡块夹紧坩埚的力度,防止锥形卡块与坩埚分离,避免坩埚坠落。
搜索关键词: 一种 气化 真空镀膜 专用 石墨 坩埚 夹持 装置
【主权项】:
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