[实用新型]一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置有效

专利信息
申请号: 202121088801.X 申请日: 2021-05-20
公开(公告)号: CN214736048U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 杨清泉;高保林;杨潇 申请(专利权)人: 安阳市佰士特异型石墨制品有限责任公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14
代理公司: 郑州宏海知识产权代理事务所(普通合伙) 41184 代理人: 赵白
地址: 455000 河南省安阳市北关区中原高新*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 气化 真空镀膜 专用 石墨 坩埚 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:包括底环,所述底环的顶部对称设有支撑杆,所述支撑杆相对的一侧铰接设有锥形卡块,所述锥形卡块与相邻的所述支撑杆之间均固设有压簧;所述底环上对称设有限位杆,所述限位杆的顶部设有外螺纹,所述限位杆套设有压紧环,所述压紧环卡设于所述锥形卡块外侧,所述限位杆的顶部均螺纹连接有顶块,所述顶块的顶部均固定设有转柄。

2.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述底环与所述压紧环的内壁上均固定设有防滑层。

3.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述支撑杆的材质为不锈钢。

4.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述转柄上均套设有防滑套。

5.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述锥形卡块的内侧均一体化设有防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述压紧环的内径大于所述底环的内径。

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