[实用新型]一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置有效
申请号: | 202121088801.X | 申请日: | 2021-05-20 |
公开(公告)号: | CN214736048U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 杨清泉;高保林;杨潇 | 申请(专利权)人: | 安阳市佰士特异型石墨制品有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14 |
代理公司: | 郑州宏海知识产权代理事务所(普通合伙) 41184 | 代理人: | 赵白 |
地址: | 455000 河南省安阳市北关区中原高新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气化 真空镀膜 专用 石墨 坩埚 夹持 装置 | ||
1.一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:包括底环,所述底环的顶部对称设有支撑杆,所述支撑杆相对的一侧铰接设有锥形卡块,所述锥形卡块与相邻的所述支撑杆之间均固设有压簧;所述底环上对称设有限位杆,所述限位杆的顶部设有外螺纹,所述限位杆套设有压紧环,所述压紧环卡设于所述锥形卡块外侧,所述限位杆的顶部均螺纹连接有顶块,所述顶块的顶部均固定设有转柄。
2.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述底环与所述压紧环的内壁上均固定设有防滑层。
3.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述支撑杆的材质为不锈钢。
4.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述转柄上均套设有防滑套。
5.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述锥形卡块的内侧均一体化设有防滑纹。
6.根据权利要求1所述的一种气化铝真空镀膜专用石墨坩埚夹持装置,其特征在于:所述压紧环的内径大于所述底环的内径。
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