[实用新型]一种自动通气系统有效
| 申请号： | 202121022693.6 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN215828919U | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘有益;徐小龙;高利强;钟旭;沈浩平;王彦君;王林;李建军 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种自动通气系统，用于控制气体输入单晶炉内，包括第一气路、第二气路和配比装置，第一气路与第二气路分别与配比装置连通，第一气路用于控制氩气的通入，第二气路用于通入第一气体；配比装置用于对氩气的流量和第一气体的流量进行配比，配比装置的出气端与单晶炉连通，将配比后的气体通入单晶炉内。本实用新型的有益效果是结构简单，使用方便，易开发，不会对单晶炉的拉晶设备结构进行改造，投入成本低，将保护气体和掺杂气体混合后的气体通入单晶炉内，使得通入单晶炉内的气体中的掺杂气体比例可控，以使得单晶的轴向电阻率可控，自动化程度高，不需人工干预即可实现拉晶过程中自动进行气相掺杂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 通气 系统 | ||
【主权项】：
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