[实用新型]一种自动通气系统

权利要求书

1.一种自动通气系统，用于控制气体输入单晶炉内，其特征在于：包括第一气路、第二气路和配比装置，所述第一气路与所述第二气路分别与所述配比装置连通，所述第一气路用于控制氩气的通入，所述第二气路用于通入第一气体；

所述配比装置用于对氩气的流量和第一气体的流量进行配比，所述配比装置的出气端与所述单晶炉连通，将配比后的气体通入单晶炉内。

2.根据权利要求1所述的自动通气系统，其特征在于：所述第一气路包括第一管路、第一开关和第一流量检测装置，所述第一开关与所述第一流量检测装置设于所述第一管路上，控制第一气路的开启、关闭及气体流量。

3.根据权利要求2所述的自动通气系统，其特征在于：所述第二气路包括第二管路、压力调节装置、第二开关和第二流量检测装置，所述压力调节装置、所述第二开关与所述第二流量检测装置均设于所述第二管路上，控制第二气路的压力、流量及开启、关闭。

4.根据权利要求3所述的自动通气系统，其特征在于：所述第一开关与所述第二开关均为电磁阀。

5.根据权利要求3所述的自动通气系统，其特征在于：所述第一流量检测装置与所述第二流量检测装置均为质量流量计。

6.根据权利要求3所述的自动通气系统，其特征在于：所述压力调节装置为减压阀。