[实用新型]一种通气流量控制箱及气体通气系统有效
| 申请号： | 202121020745.6 | 申请日： | 2021-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN215517738U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 程立波;杨志;徐小龙;高利强;刘有益;王林;李建军 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;C30B15/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种通气流量控制箱及气体通气系统，包括具有进气孔和出气孔的安装装置、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置和开关，送气控制装置设于安装装置的进气孔端，用于控制气体沿气路输送；开关设于安装装置的出气孔端，用于控制气体输送时的气路的打开与关闭；送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置与开关沿着气体流动的方向依次连接，排气控制装置设于送气控制装置与压力控制装置的连接管道上，在进行气体输送时，排出气路内的杂质气体，控制气体输送时的压力和流量。本实用新型的有益效果是通气过程方便，能够对通入单晶炉内的掺杂气体的流量进行精确控制，对单晶的轴向电阻率进行控制，保证单晶的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通气 流量 控制箱 气体 系统 | ||
【主权项】：
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