[实用新型]一种通气流量控制箱及气体通气系统

权利要求书

1.一种通气流量控制箱，其特征在于：包括具有进气孔和出气孔的安装装置、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置和开关，其中，

所述送气控制装置设于所述安装装置的进气孔端，用于控制气体沿气路输送；

所述开关设于所述安装装置的出气孔端，用于控制气体输送时的气路的打开与关闭；

所述送气控制装置、所述压力控制装置、所述流量控制装置与所述开关沿着气体流动的方向依次连接，所述排气控制装置设于所述送气控制装置与所述压力控制装置的连接管道上，在进行气体输送时，排出气路内的杂质气体，并控制气体输送时的压力和流量。

2.根据权利要求1所述的通气流量控制箱，其特征在于：还包括压力检测装置，所述压力检测装置与所述压力控制装置连接，用于检测气路内气体的压力。

3.根据权利要求1或2所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述安装装置为箱体，所述连接管道、所述送气控制装置、所述压力控制装置、所述流量控制装置、所述排气控制装置与所述开关均设于所述箱体内，所述送气控制装置通过穿过所述进气孔的连接管道与气源装置连接，所述开关通过穿过所述出气孔的连接管道与单晶炉连接，对单晶炉进行气体输送。

4.根据权利要求1或2所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述排气控制装置为旁路阀。

5.根据权利要求4所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述压力控制装置为减压阀。

6.根据权利要求2所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述压力检测装置为压力表。

7.根据权利要求1或2或5或6所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述送气控制装置为送气阀。

8.根据权利要求7所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述开关为电磁阀。

9.根据权利要求8所述的通气流量控制箱，其特征在于：所述流量控制装置为质量流量计。

10.一种气体通气系统，其特征在于：包括气源装置和如权利要求1-9任一项所述的通气流量控制箱，所述通气流量控制箱分别与所述气源装置和单晶炉连接，为单晶炉供给气体。