[实用新型]一种通气流量控制箱及气体通气系统

说明书

本实用新型提供一种通气流量控制箱及气体通气系统，包括具有进气孔和出气孔的安装装置、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置和开关，送气控制装置设于安装装置的进气孔端，用于控制气体沿气路输送；开关设于安装装置的出气孔端，用于控制气体输送时的气路的打开与关闭；送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置与开关沿着气体流动的方向依次连接，排气控制装置设于送气控制装置与压力控制装置的连接管道上，在进行气体输送时，排出气路内的杂质气体，控制气体输送时的压力和流量。本实用新型的有益效果是通气过程方便，能够对通入单晶炉内的掺杂气体的流量进行精确控制，对单晶的轴向电阻率进行控制，保证单晶的品质。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产技术领域，尤其是涉及一种通气流量控制箱及气体通气系统。

背景技术

单晶硅作为新能源领域重要材料之一，是制作太阳能电池主要材料，但在太阳能电池使用过程中存在转换效率衰减情况，目前行业内普遍认为造成转换效率衰减的原因为当前使用B-Si合金，在单晶硅片后道处理过程当中，造成B-0复合体，致使加快单晶转化效率衰减。

对此，提出掺镓单晶硅，由于镓代替了硼，避免造成B-0复合体，进而改善单晶硅转换效率在使用过程中快速衰减情况。但是由于掺镓单晶镓单质在硅中的分凝系数小，为满足客户对掺镓产品电阻率的需求，当期行业内均采取降低掺镓单晶拉棒长度的措施，减少降档品的产生。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型提供一种通气流量控制箱及气体通气系统，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种通气流量控制箱，包括具有进气孔和出气孔的安装装置、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置和开关，其中，

送气控制装置设于安装装置的进气孔端，用于控制气体沿气路输送；

开关设于安装装置的出气孔端，用于控制气体输送时的气路的打开与关闭；

送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置与开关沿着气体流动的方向依次连接，排气控制装置设于送气控制装置与压力控制装置的连接管道上，在进行气体输送时，排出气路内的杂质气体，并控制气体输送时的压力和流量。

进一步的，还包括压力检测装置，压力检测装置与压力控制装置连接，用于检测气路内气体的压力。

进一步的，安装装置为箱体，连接管道、送气控制装置、压力控制装置、流量控制装置、排气控制装置与开关均设于箱体内，送气控制装置通过穿过进气孔的连接管道与气源装置连接，开关通过穿过出气孔的连接管道与单晶炉连接，对单晶炉进行气体输送。

进一步的，排气控制装置为旁路阀。

进一步的，压力控制装置为减压阀。

进一步的，压力检测装置为压力表。

进一步的，送气控制装置为送气阀。

进一步的，开关为电磁阀。

进一步的，流量控制装置为质量流量计。

一种气体通气系统，包括气源装置和如上述的通气流量控制箱，通气流量控制箱分别与气源装置和单晶炉连接，为单晶炉供给气体。