[实用新型]一种光罩显影专用显影槽有效
| 申请号： | 202120868990.6 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN214751327U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H05B3/20 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光罩显影专用显影槽，包括槽本体，槽本体固定于支撑架上，槽本体内腔安装多孔放置板，多孔放置板与槽本体底壁之间设置容纳仓，容纳仓底壁安装导热板，槽本体底端面安装加热板，还包括搅拌组件，搅拌组件安装于容纳仓，本实用新型结构设计新颖，能够实现对显影液的恒温加热和搅拌，能够提高光罩显影均匀性和显影质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 专用 | ||
【主权项】：
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