[实用新型]一种光罩显影专用显影槽有效
| 申请号： | 202120868990.6 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN214751327U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H05B3/20 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影 专用 | ||
1.一种光罩显影专用显影槽, 包括槽本体（1），其特征在于：所述槽本体（1）固定于支撑架（2）上，所述槽本体（1）内腔安装多孔放置板（3），所述多孔放置板（3）与所述槽本体（1）底壁之间设置容纳仓（4），所述容纳仓（4）底壁安装导热板（14），所述槽本体（1）底端面安装加热板，还包括搅拌组件，所述搅拌组件安装于容纳仓（4）。
2.根据权利要求1所述的一种光罩显影专用显影槽，其特征在于：所述搅拌组件包括搅拌叶（7）、转轴（8）和搅拌电机（9），所述搅拌电机（9）安装于支撑架（2），所述转轴（8）一端与搅拌电机（9）的输出轴传动连接，所述转轴（8）另一端贯穿槽本体（1）底壁并伸入容纳仓（4）内，所述搅拌叶（7）安装于转轴（8）外部。
3.根据权利要求1所述的一种光罩显影专用显影槽，其特征在于：所述加热板包括第一加热板（5）和第二加热板（10），所述第一加热板（5）和第二加热板（10）设置于转轴（8）两侧。
4.根据权利要求3所述的一种光罩显影专用显影槽，其特征在于：所述第一加热板（5）和第二加热板（10）结构完全一致，包括板体（11），所述板体（11）内开设多个通槽（12），每个所述的通槽（12）内均安装电加热管（13）。
5.根据权利要求1所述的一种光罩显影专用显影槽，其特征在于：所述导热板（14）采用碳化硅导热板。
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