[实用新型]一种小尺寸掩膜版定位装置有效
| 申请号： | 202120860311.0 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN214751328U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 林超;林伟 | 申请（专利权）人： | 成都路维光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 史丽红 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种小尺寸掩膜版定位装置，包括主体板和两个垫板，主体板具有第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第一凸起；两个垫板分别设置在第一端部和第二端部的上表面，两个垫板的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第二凸起。能够实现小尺寸掩膜版精准定位并提高图像精度。本实用新型优点是：主体板两个相互靠近的内侧壁相互垂直，可以解决高世代掩膜版光刻机不能实现小尺寸掩膜版，自动上版而导致位置精度偏差的问题，结构简单、操作方便、使用灵活，避免了因人工放置小尺寸掩膜版而导致的位置及图形精度的偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 掩膜版 定位 装置 | ||
【主权项】：
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