[实用新型]一种小尺寸掩膜版定位装置

权利要求书

1.一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，包括主体板(1)和两个垫板(9)，所述主体板(1)具有第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第一凸起(31)，所述第一端部内侧壁的多个第一凸起(31)的端头与所述第二端部内侧壁的多个所述第一凸起(31)的端头共同形成直角型的第一定位区域；

两个所述垫板(9)分别设置在所述第一端部和所述第二端部的上表面，两个所述垫板(9)的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第二凸起(32)，其中一个所述垫板(9)内侧壁的多个所述第二凸起(32)的端头与另一个所述垫板(9)内侧壁的多个所述第二凸起(32)的端头共同形成直角型的第二定位区域；所述第一定位区域与所述第二定位区域在竖直方向上的投影相同，所述第一定位区域和所述第二定位区域为一个可放置掩膜版的区域。

2.根据权利要求1所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，第二端部的下表面设置有与光刻机平台可进行拆卸连接的卡位装置。

3.根据权利要求2所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，所述卡位装置包括均设置在所述第一端部和所述第二端部下表面的条块(5)，所述条块(5)的侧面穿设有与螺母(7)相适配的螺丝(6)，所述螺丝(6)的一端具有与所述光刻机平台相抵的端头；所述螺母(7)和螺丝(6)均设置在所述主体板(1)下方。

4.根据权利要求2所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，两个所述垫板(9)外侧壁上均设有一个垂直于所述垫板(9)的挡边块(4)，当进行定位时，所述主体板(1)放置在所述光刻机平台上，所述垫板(9)沿着所述主体板(1)靠近掩膜版区域的方向滑动，直至所述挡边块(4)靠近所述主体板(1)的侧面贴合在所述光刻机平台的侧壁上。

5.根据权利要求3所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，所述螺母(7)的前端面设置有柱头(8)。

6.根据权利要求5所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，所述柱头(8)的材质为特氟龙。

7.根据权利要求1所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，第一端部和所述第二端部的上表面均开设有导流槽(2)，所述导流槽(2)与所述垫板(9)的下表面相贴合。

8.根据权利要求1所述的一种小尺寸掩膜版定位装置，其特征在于，所述第一凸起(31)和第二凸起(32)的端头的截面为半圆形，当进行定位时，所述第一凸起(31)和第二凸起(32)的外凸点均可与所述掩膜版的侧面相抵。