[实用新型]碳化硅晶型检验装置有效
| 申请号： | 202120826756.7 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN214584950U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 蔡少忠;张洁;张煌珊;许佳锋 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘曾 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及实验设备技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅晶型检验装置。碳化硅晶型检验装置包括拍照箱、拍照相机、拍照光源、托盘和控制单元；拍照箱围合形成用于拍照的暗室空间；托盘可转动地设置在拍照箱中，托盘用于承载晶体；拍照光源和拍照相机均设置在拍照箱中，控制单元与拍照相机连接以操控拍照相机对托盘上的晶体进行拍照。能够通过自动拍照进行UV灯照射检验。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 检验 装置 | ||
【主权项】：
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