[实用新型]碳化硅晶型检验装置

说明书

本实用新型涉及实验设备技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅晶型检验装置。碳化硅晶型检验装置包括拍照箱、拍照相机、拍照光源、托盘和控制单元；拍照箱围合形成用于拍照的暗室空间；托盘可转动地设置在拍照箱中，托盘用于承载晶体；拍照光源和拍照相机均设置在拍照箱中，控制单元与拍照相机连接以操控拍照相机对托盘上的晶体进行拍照。能够通过自动拍照进行UV灯照射检验。

技术领域

本实用新型涉及实验设备技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅晶型检验装置。

背景技术

碳化硅当前主要受到长晶稳定性的影响导致整体的晶体良率低的影响。而在长晶过程中是极度容易产生其他晶型的晶体。所以对于晶体晶型的检验及确认，也是当前碳化硅晶体检测必要的工作。当前生产技术条件下多型的检测主要通过UV灯照射来辨识晶体晶型情况。

然而UV灯照射检验的持续时间长、紫外线伤害是现有存在的弊端。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种碳化硅晶型检验装置，其能够通过自动拍照进行UV灯照射检验。

本实用新型的实施例可以这样实现：

第一方面，本实用新型提供一种碳化硅晶型检验装置，用于对碳化硅的晶体拍照，包括：

拍照箱、拍照相机、拍照光源、托盘和控制单元；

所述拍照箱围合形成用于拍照的暗室空间；所述托盘可转动地设置在所述拍照箱中，所述托盘用于承载所述晶体；

所述拍照光源和所述拍照相机均设置在所述拍照箱中，所述控制单元与所述拍照相机连接以操控所述拍照相机对所述托盘上的所述晶体进行拍照。

本方案的碳化硅晶型检验装置通过设置具有暗室空间的拍照箱，而暗室空间中具有拍照相机，控制单元通过控制拍照相机完成对放置在托盘上的晶体进行拍照，再根据拍照得到的相片对晶片进行验证和检验。同时，托盘可转动的设置在拍照箱中，当拍照相机拍摄过程中，通过转动托盘，使得相机能够多角度地实现对托盘上的晶体的拍摄，从而获得更加全面的晶片的照片，进而保障了晶体检验的准确性和高效性。另外，在拍照箱的暗室空间中，拍照光源的光源效果能够得到最大限度地展示，从而提高了拍照相机的对晶体拍照的相片效果，如此提高了拍照相机的质量，而高质量的相片能够增加晶体检验的效率。

综上，这样的碳化硅晶型检验装置具有结构简单、操作方面，且自动化完成拍照的作业，从而显著提高了晶体检验的效率、提高了作业人员的安全性，因此经济效益显著。

在可选的实施方式中，所述碳化硅晶型检验装置包括旋转机构；

所述旋转机构与所述托盘连接，以驱动所述托盘绕其中心转动。

在可选的实施方式中，所述控制单元与所述旋转机构连接，以操控所述旋转机构带动托盘转动。

在可选的实施方式中，所述拍照相机包括均设置在所述拍照箱中的第一相机和第二相机；

所述第一相机位于所述托盘的正对面，所述第二相机位于所述托盘的侧面。

在可选的实施方式中，所述拍照光源包括第一光源和第二光源；

所述第一光源设置在所述第一相机的附近，所述第二光源设置在所述第二相机附近。

在可选的实施方式中，所述第二光源设置在所述第二相机靠近所述第一光源的一侧。

在可选的实施方式中，所述第一光源包括第一发光件和第二发光件；

所述第一发光件设置在所述第一相机远离所述第二相机的一侧；所述第二发光件位于所述第一相机和所述第二光源之间。

在可选的实施方式中，所述拍照光源均为UV灯。