[实用新型]一种PECVD镀膜装置

摘要

本实用新型属于镀膜装置领域，尤其是一种PECVD镀膜装置，针对现有的镀膜装置不便于镀膜时提高镀膜的质量的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部固定连接有两个支撑板，两个支撑板的一侧固定连接有同一个镀膜箱，所述镀膜箱的一侧固定连接有进气管和出气管，进气管和出气管的一端固定连接有同一个收集箱，进气管的一端固定连接有活性炭过滤板，且镀膜箱的一侧转动连接有门，所述底座的顶部固定连接有电机，电机的输出轴上固定连接有第一旋转柱，第一旋转柱上固定连接有两个第一锥齿轮，两个第一锥齿轮分别啮合有第二锥齿轮和第三锥齿轮，本实用新型便于镀膜时提高镀膜的质量，且结构简单，操作方便。