[实用新型]真空装置有效

专利信息
申请号: 202120686445.5 申请日: 2021-04-02
公开(公告)号: CN215812618U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 伊丽颖;胡建信;姚波;于海波;胡运兴;许伟光 申请(专利权)人: 北京大学;华纳创新(北京)科技有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 樊春燕
地址: 100089*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及分析仪器技术领域,具体而言,涉及一种真空装置。本实用新型提供的真空装置,包括外壳、导温盘、环形圆板、腔体及氦气制冷机。其中,腔体和导温盘分别安装于环形圆板的两面,且腔体的内腔与环形圆板的内圆相通;氦气制冷机的冷头贯穿腔体及环形圆板的内圆,并与导温盘相抵;外壳套设于环形圆板的导温盘面,与氦气制冷机配合形成密闭结构。该装置缩短了腔体长度,而且氦气制冷机的冷头与导温盘直接连接,提高了热传导效率和装置的集成度。并且氦气制冷机相较于传统份的含卤冷媒制冷机更加小巧轻便、稳定性更高。而且制冷温度更低,能够满足严苛的制冷需求,也能够有效避免冷媒泄露,不会对真空装置造成污染。
搜索关键词: 真空 装置
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