[实用新型]真空装置有效
| 申请号： | 202120686445.5 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN215812618U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 伊丽颖;胡建信;姚波;于海波;胡运兴;许伟光 | 申请（专利权）人： | 北京大学;华纳创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 樊春燕 |
| 地址： | 100089*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
1.一种真空装置，其特征在于，包括外壳、导温盘、环形圆板、腔体及氦气制冷机；
所述腔体和所述导温盘分别安装于所述环形圆板的两面，且所述腔体的内腔与所述环形圆板的内圆相通；
所述氦气制冷机的冷头贯穿所述腔体及所述环形圆板的内圆，并与所述导温盘相抵；
所述外壳套设于所述环形圆板的导温盘面，与所述氦气制冷机配合形成密闭结构。
2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述环形圆板上设有真空孔、气体管路孔及测温装置孔，所述真空孔用于真空管通过，所述气体管路孔用于气体进出管通过，所述测温装置孔用于安装测温装置。
3.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述真空孔与所述真空管之间及所述气体管路孔与所述气体管路之间均通过4,4’-(1-甲基亚乙基)双苯酚与(氯甲基)环氧乙烷的聚合物密封。
4.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述导温盘的材质为铜。
5.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述腔体为柱状。
6.根据权利要求5所述的真空装置，其特征在于，所述腔体的内径与所述环形圆板的内圆直径相同，所述导温盘的直径大于所述腔体的内径，且小于所述环形圆板的外圆直径。
7.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述腔体与所述氦气制冷机之间通过法兰连接。
8.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，所述法兰处安装有第一垫圈。
9.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述环形圆板与所述外壳之间还安装有第二垫圈。
10.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述环形圆板与所述外壳通过螺钉连接。
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