[实用新型]真空装置

说明书

本实用新型涉及分析仪器技术领域，具体而言，涉及一种真空装置。本实用新型提供的真空装置，包括外壳、导温盘、环形圆板、腔体及氦气制冷机。其中，腔体和导温盘分别安装于环形圆板的两面，且腔体的内腔与环形圆板的内圆相通；氦气制冷机的冷头贯穿腔体及环形圆板的内圆，并与导温盘相抵；外壳套设于环形圆板的导温盘面，与氦气制冷机配合形成密闭结构。该装置缩短了腔体长度，而且氦气制冷机的冷头与导温盘直接连接，提高了热传导效率和装置的集成度。并且氦气制冷机相较于传统份的含卤冷媒制冷机更加小巧轻便、稳定性更高。而且制冷温度更低，能够满足严苛的制冷需求，也能够有效避免冷媒泄露，不会对真空装置造成污染。

技术领域

本实用新型涉及分析仪器技术领域，具体而言，涉及一种真空装置。

背景技术

在低沸点痕量气体的分析过程中，往往需要将样品降至极低的温度进行捕集，而后升温进行释放。在上述过程中，降温过程会导致外界的水、二氧化碳等物质凝结并附着在管路和接口处，从而导致出现降温效率降低或系统无法达到设定温度等问题，并且这些凝结物会对管路接口处产生挤压，从而损坏管路接口。另外，在升温过程中，外部凝结的物质会融化蒸发，又导致了升温效率的降低。因此，需要提供一种高度真空的环境来将需要升温和降温的气体与外界隔离开来，从而能够最大程度的避免其与外界的热交换，极大的提高冷凝和加热效率，在保证达到目标温度的同时，避免管路接口的损坏。

然而，传统的真空仓采用外置压缩机压缩冷媒进行制冷，导致需要较长的管路循环冷媒，装置的集成度不高，且降低了制冷机的制冷效率。而且通常使用卤代烃类冷媒进行冷却，冷媒一旦泄露会直接影响分析仪器内痕量气体中某些组分的浓度，从而干扰测量结果。

实用新型内容

基于此，本实用新型提供了一种真空装置。该装置大大缩短了腔体长度，并且通过氦气制冷机冷头与导温盘直接连接提高了热传导效率和装置的集成度，有效避免了冷媒泄露导致装置污染的问题。

本实用新型提供一种真空装置，其包括：外壳、导温盘、环形圆板、腔体及氦气制冷机；

所述腔体和所述导温盘分别安装于所述环形圆板的两面，且所述腔体的内腔与所述环形圆板的内圆相通；

所述氦气制冷机的冷头贯穿所述腔体及所述环形圆板的内圆，并与所述导温盘相抵；

所述外壳套设于所述环形圆板的导温盘面，与所述氦气制冷机配合形成密闭结构。

在一些实施方式中，所述环形圆板上设有真空孔、气体管路孔及测温装置孔，所述真空孔用于真空管通过，所述气体管路孔用于气体进出管通过，所述测温装置孔用于安装测温装置。

在一些实施方式中，所述真空孔与所述真空管之间及所述气体管路孔与所述气体管路之间均通过4,4’-(1-甲基亚乙基)双苯酚与(氯甲基)环氧乙烷的聚合物密封。

在一些实施方式中，所述导温盘的材质为铜。

在一些实施方式中，所述腔体为柱状。

在一些实施方式中，所述腔体的内径与所述环形圆板的内圆直径相同，所述导温盘的直径大于所述腔体的内径，且小于所述环形圆板的外圆直径。

在一些实施方式中，所述腔体与所述氦气制冷机之间通过法兰连接。

在一些实施方式中，所述法兰处安装有第一垫圈。

在一些实施方式中，所述环形圆板与所述外壳之间还安装有第二垫圈。

在一些实施方式中，所述环形圆板与所述外壳通过螺钉连接。

有益效果：

本实用新型提供的真空装置大大缩短了腔体的长度，且将氦气制冷机的冷头与导温盘直接连接，无需通过冷媒等其他导温媒介，加快了热量的传递效率，使得装置升温与降温的灵敏度更高。