[实用新型]一种探针卡多方位调节装置有效
| 申请号： | 202120649067.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214622767U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 傅智云 | 申请（专利权）人： | 无锡紫电半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区新泰路8号江苏国际技术转移中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针卡多方位调节装置，其可实现薄膜两个方向旋转，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的薄膜调节机构、显微镜、探针卡调节机构，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽，薄膜调节机构包括第一X向移动滑台、安装于第一X向移动滑台的滑块上的r0轴旋转台、安装于r0轴旋转台的Z向移动滑台、安装于Z向移动滑台的滑块上的r1轴旋转台，r0轴旋转台包括Y向转轴、转动安装于Y向转轴的Y向转台、驱动Y向转台旋转的微分头，Z向移动滑台固定于Y向转台的一侧，r1轴旋转台包括第一转轴，第一转轴的一端固接第一旋钮，另一端固接薄膜固定件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 多方位 调节 装置 | ||
【主权项】：
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