[实用新型]一种探针卡多方位调节装置

权利要求书

1.一种探针卡多方位调节装置，其包括底座、安装于所述底座上的薄膜调节机构、显微镜、探针卡调节机构，所述探针卡调节机构包括用于放置所述探针卡的探针卡放置槽，所述薄膜调节机构包括用于固定所述薄膜的薄膜固定件、带动所述薄膜固定件移动的薄膜驱动机构，所述薄膜固定件位于所述探针卡放置槽的上方，所述显微镜位于所述薄膜固定件的上方，其特征在于，所述薄膜调节机构包括第一X向移动滑台、安装于所述第一X向移动滑台的滑块上的r0轴旋转台、安装于所述r0轴旋转台的Z向移动滑台、安装于所述Z向移动滑台的滑块上的r1轴旋转台，所述r0轴旋转台包括Y向转轴、转动安装于所述Y向转轴的Y向转台、驱动所述Y向转台旋转的微分头，所述Z向移动滑台固定于所述Y向转台的一侧，所述r1轴旋转台包括第一转轴，所述第一转轴的一端固接第一旋钮，所述第一转轴的另一端固接所述薄膜固定件。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡多方位调节装置，其特征在于，所述薄膜调节机构包括第一转接板、第二转接板，所述第一转接板为L型，所述第一转接板的底端与所述第一X向移动滑台的滑块固定，所述r0轴旋转台通过所述第二转接板与所述第一转接板的侧端固定。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡多方位调节装置，其特征在于，所述微分头包括左旋微分头、右旋微分头，所述第二转接板包括平面板、固定于所述平面板顶端的连接板、与所述连接板一侧端垂直固定的凹型板，所述Y向转台的顶端固定有连接块，所述连接块的一端与所述Y向转台的外缘面固定，所述连接块的另一端延伸至所述凹型板的凹槽内，所述左旋微分头的转轴、右旋微分头的转轴分别贯穿所述凹型板的两侧端，并分别砥接于所述连接块的两侧。