[实用新型]一种探针卡多方位调节装置

说明书

本实用新型公开了一种探针卡多方位调节装置，其可实现薄膜两个方向旋转，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的薄膜调节机构、显微镜、探针卡调节机构，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽，薄膜调节机构包括第一X向移动滑台、安装于第一X向移动滑台的滑块上的r0轴旋转台、安装于r0轴旋转台的Z向移动滑台、安装于Z向移动滑台的滑块上的r1轴旋转台，r0轴旋转台包括Y向转轴、转动安装于Y向转轴的Y向转台、驱动Y向转台旋转的微分头，Z向移动滑台固定于Y向转台的一侧，r1轴旋转台包括第一转轴，第一转轴的一端固接第一旋钮，另一端固接薄膜固定件。

技术领域

本实用新型涉及探针卡检测设备技术领域，具体为一种探针卡多方位调节装置。

背景技术

在探针卡制造过程中，为确保后续使用时每根探针的位置准确，需对探针卡进行贴膜定位操作，薄膜(绝缘耐高温胶片，材质为聚酯薄膜PET)上打印(激光打印)有若干个与探针直径匹配的刻痕(刻痕为用于探针卡上的探针定位的定位点)，通过探针与相应的薄膜刻痕对应，实现探针定位，探针及刻痕直径仅有10微米～15微米左右，因此使用显微镜才能观测到探针卡上探针与薄膜刻痕的对应情况。在使用显微镜观测时，需调节探针卡或/和薄膜位置，使探针与薄膜刻痕的位置对应情况能够在显微镜中清楚显示。

目前探针卡位置调整设备的调节方位较少，其一般可实现薄膜的X轴、Z轴方向调整，但仍存在探针卡与薄膜通孔对应不准确的问题，在使用显微镜观测探针与薄膜刻痕对应情况时，需对薄膜进行旋转操作，以便于通过显微镜清楚观测到探针卡探针与薄膜刻痕对应是否准确，从而便于后续对探针卡探针进行调节定位，但目前可实现薄膜多方向旋转的设备较少，严重影响了探针卡检测效率及检测准确性。

实用新型内容

针对现有技术中存在的可实现薄膜多方向旋转的设备较少，影响探针卡检测效率及检测准确性的问题，本实用新型提供了一种探针卡多方位调节装置，其可实现薄膜两个方向旋转，可提高检测效率和检测准确性。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种探针卡多方位调节装置，其包括底座、安装于所述底座上的薄膜调节机构、显微镜、探针卡调节机构，所述探针卡调节机构包括用于放置所述探针卡的探针卡放置槽，所述薄膜调节机构包括用于固定所述薄膜的薄膜固定件、带动所述薄膜固定件移动的薄膜驱动机构，所述薄膜固定件位于所述探针卡放置槽的上方，所述显微镜位于所述薄膜固定件的上方，所述显微镜的镜头依次对应所述薄膜、探针卡，其特征在于，所述薄膜调节机构包括第一X向移动滑台、安装于所述第一X向移动滑台的滑块上的r0轴旋转台、安装于所述r0轴旋转台的Z向移动滑台、安装于所述Z向移动滑台的滑块上的r1轴旋转台，所述第一X向移动滑台的底端与所述底座固接，所述r0轴旋转台包括Y向转轴、转动安装于所述Y向转轴的Y向转台、驱动所述Y向转台旋转的微分头，所述Z向移动滑台固定于所述Y向转台的一侧，所述r1轴旋转台包括第一转轴，所述第一转轴的一端固接第一旋钮，所述第一转轴的另一端固接所述薄膜固定件。

其进一步特征在于，

所述薄膜调节机构包括第一转接板、第二转接板，所述第一转接板为L型，所述第一转接板的底端与所述第一X向移动滑台的滑块固定，所述r0轴旋转台通过所述第二转接板与所述第一转接板的侧端固定；

所述微分头包括左旋微分头、右旋微分头，所述第二转接板包括平面板、固定于所述平面板顶端的连接板、与所述连接板一侧端垂直固定的凹型板，所述Y向转台的顶端固定有连接块，所述连接块的一端与所述Y向转台的外缘面固定，所述连接块的另一端延伸至所述凹型板的凹槽内，所述左旋微分头的转轴、右旋微分头的转轴分别贯穿所述凹型板的两侧端，并分别抵接于所述连接块的两侧；