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- [实用新型]一种双排菱形结构的探针卡-CN202122894852.8有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-11-23
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2022-05-13
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G01R1/073
- 本实用新型公开了一种双排菱形结构的探针卡，其可提高同测芯片数量，可提高测试效率，其包括PCB板、探针座、固定于探针座的若干探针，探针包括固定部、检测部，固定部安装于探针座，检测部包括弯折的针尖，针尖的尖端朝向待测芯片的引脚，用于与引脚进行电连接，探针分布探针座的两侧，每侧分布有至少两层探针，各层探针竖向并排分布，且探针的长度由内层向外层依次减小，相邻两层探针之间通过胶片分隔，各层探针的针尖间隔分布且各层针尖的尖端位于同一平面，每层探针包括至少两组探针组，每组探针组包括两组呈菱形结构倾斜分布的菱形探针。
- 一种菱形结构探针
- [实用新型]一种无针痕晶圆测试用探针卡-CN202121712555.0有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-07-26
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2022-01-04
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G01R1/067
- 一种无针痕晶圆测试用探针卡，涉及晶圆测试技术领域。该探针卡包括探针、基座，探针探针的直径为75μm，探针为P7合金探针，基座的环氧树脂板固定安装于PCB板上，陶瓷环固定安装于环氧树脂板上，环氧树脂板与陶瓷环上开设有探针检测槽，探针检测槽内设置有至少一组探针，探针贯穿环氧树脂板且探针的针尖设置于探针检测槽内。探针设置于探针检测槽内的长度为3mm。根据探针的材料，探针的直径，探针设置于探针检测槽4内的长度等参数，探针所产生的压力为0.1g/MIL，在这种的压强作用下，针扎在芯片上晶圆，刚好能接触导通信号，又不会在金PAD上产生压痕。
- 一种无针痕晶圆测试探针
- [实用新型]一种探针卡多方位调节装置-CN202120649067.3有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-03-30
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2021-11-05
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G01R1/073
- 本实用新型公开了一种探针卡多方位调节装置，其可实现薄膜两个方向旋转，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的薄膜调节机构、显微镜、探针卡调节机构，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽，薄膜调节机构包括第一X向移动滑台、安装于第一X向移动滑台的滑块上的r0轴旋转台、安装于r0轴旋转台的Z向移动滑台、安装于Z向移动滑台的滑块上的r1轴旋转台，r0轴旋转台包括Y向转轴、转动安装于Y向转轴的Y向转台、驱动Y向转台旋转的微分头，Z向移动滑台固定于Y向转台的一侧，r1轴旋转台包括第一转轴，第一转轴的一端固接第一旋钮，另一端固接薄膜固定件。
- 一种探针多方位调节装置
- [实用新型]一种探针卡调节装置-CN202120650991.3有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-03-30
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2021-11-05
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G01R31/28
- 本实用新型公开了一种探针卡调节装置，其无需检测者手持探针卡，即可实现探针卡多个方位的自动调节，调节操作方便快捷，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽、带动探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，薄膜调节机构包括用于固定薄膜的薄膜固定件、带动薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，薄膜固定件位于探针卡放置槽的上方，显微镜位于薄膜固定件的上方，显微镜的镜头依次对应薄膜、探针卡。
- 一种探针调节装置
- [实用新型]一种胶片打孔机-CN202120764049.X有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-04-14
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2021-11-05
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B26F1/16
- 本实用新型公开了一种胶片打孔机，其可实现胶片自动打孔，可确保孔间隔距离准确，防止孔被打穿，同时可提高加工效率，其包括基座、布置于基座的钻孔装置、固定机构、移动机构，固定机构用于固定胶片，钻孔装置包括钻头，钻头向下与胶片对应，移动机构包括第一横向移动模组、固定于第一横向移动模组的滑块且与第一横向移动模组垂直的第二横向移动模组，固定机构固定于第二横向移动模组的滑块上，移动机构还包括纵向移动模组，钻孔装置固定于纵向移动模组的滑块上。
- 一种胶片打孔机
- [实用新型]一种探针弯折装置-CN202120764651.3有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-04-14
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2021-11-05
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B21F1/00
- 本实用新型公开了一种探针弯折装置，其可实现探针弯折，可提高成品质量，探针弯折装置包括底座、探针调节机构、弯折机构、第二探针夹紧装置，探针调节机构包括第一探针夹紧装置，第一探针夹紧装置用于固定探针的针体，第二探针夹紧装置包括两个可分离的夹块、用于驱动夹块夹紧的夹块驱动装置，夹块包括夹紧部，夹紧部用于夹紧探针的待弯折部，两个夹块的夹紧部之间设置有间隙，间隙的前端与第一探针夹紧装置对应，所述间隙为渐扩式结构。
- 一种探针装置
- [实用新型]一种探针卡探针研磨装置-CN202120790021.3有效
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-04-14
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2021-11-05
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B24B37/00
- 本实用新型公开了一种探针卡探针研磨装置，其可实现探针卡探针的自动研磨，可提高研磨效率，同时可对探针卡针尖的研磨长度进行控制，可提高成品质量，其包括基座、布置于基座的固定机构、升降机构、水平移动机构、研磨台，固定机构用于固定探针卡，升降机构包括升降台、驱动升降台升降的第一电机，水平移动机构包括移动台、驱动移动台移动的第二电机，水平移动机构固定于升降台，研磨台固定于移动台，研磨台用于对探针卡上的探针进行研磨，升降机构的一侧布置有位移传感器，位移传感器、第一电机、第二电机均与控制器电连接。
- 一种探针研磨装置
- [发明专利]一种探针弯折装置及其应用-CN202110397885.3在审
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-04-14
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2021-06-18
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B21F1/00
- 本发明公开了一种探针弯折装置及其应用，其可实现探针弯折，可提高成品质量，探针弯折装置包括底座、探针调节机构、弯折机构、第二探针夹紧装置，探针调节机构包括第一探针夹紧装置，第一探针夹紧装置用于固定探针的针体，第二探针夹紧装置包括两个可分离的夹块、用于驱动夹块夹紧的夹块驱动装置，夹块包括夹紧部，夹紧部用于夹紧探针的待弯折部，两个夹块的夹紧部之间设置有间隙，间隙的前端与第一探针夹紧装置对应，所述间隙为渐扩式结构，通过第一探针夹紧装置将探针夹紧，通过探针调节机构调节探针的位置，通过第二探针夹紧装置夹紧探针的待弯折部，通过弯折机构将探针的待弯折部弯折。
- 一种探针装置及其应用
- [发明专利]用于探针卡探针调整的摆放治具及其应用-CN202110339949.4在审
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傅智云
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无锡紫电半导体有限公司
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2021-03-30
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2021-06-11
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G01R31/28
- 本发明公开了一种用于探针卡探针调整的摆放治具及其应用，其可实现探针卡探针间距或平行度的快速调整，调整操作方便快捷，可防止成品质量参差不齐，可提高加工效率和成品质量，摆放治具包括底座、位于底座的探针卡放置区、胶片放置区，探针卡放置区用于放置探针卡，探针卡放置区包括至少两个，胶片放置区位于底座并与探针卡放置区相邻布置，胶片放置区与胶片的形状相匹配，胶片放置区用于放置胶片，胶片上开有与探针卡的探针对应的通孔，探针卡摆放治具的应用包括：将胶片固定于胶片放置区，将探针卡固定于探针卡放置区，使探针卡上的探针与胶片上的通孔一一对应，调整相邻两个探针之间的距离和探针的平行度。
- 用于探针调整摆放及其应用
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